• 浙江晶泰半導體有限公司 致力于半導體設備領域里開創新局面!

    加入收藏 | 設為首頁 | 站點地圖

    服務熱線:0577-62723111

    產品詳情 / Product Details位置: 首頁 > 晶泰產品 > YTC1100光伏級單晶爐

    YTC1100光伏級單晶爐

    主要性能指標


    爐室資料Puller Data
    坩堝直徑Crucible diameter:22"- 28"
    單晶直徑Crystal diameter:8"- 12"
    裝料量Charge size:350 kg
    喉管直徑Throat Diameter:14 "(356mm)
    直徑偏差率:Diameter deviation rate:1.5 mm
    主爐膛內徑Main furnace Diameter:Φ1100 mm
    主爐膛高度Main furnace Height:1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
    漏率:≤10 mtorr/hour
    冷爐極限真空度:≤23 mtorr
    全自動長晶過程:
    最大拉晶長度:≤3600 mm
    排氣方式Exhaust:底排氣Exhaust end
    AR進氣介面:1.喉部兩側  2.副爐室上方
    Ar流量控制:MFC 4-200 slpm


    坩堝驅動單位Crucible drive unit
    提升速度Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
    最快提升速度Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
    行程Stroke:19"(480 mm)
    轉速Rotation speed:0-20 rpm


    晶驅動單位 Crystal drive unit
    提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
    快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
    轉速Rotation speed:0-50 rpm


    廠務要求Utilities
    電源電壓(Source Voltage):380 V±10%
    頻率(Frequency):50/60 Hz
    加熱功率(Heating Power):160 KW底部加熱50 KW
    環境溫度(Ambient Temperature):5~40
    相對濕度(Relative Humidity):<70%
    入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
    最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 l/min) total
    入口出口壓力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm2)  
    主氬氣流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
    吹掃流量(Purge Flow):100 slpm
    合計(Facility Total):300 slpm
    推薦壓力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm2)
    壓縮空氣(Air)
    推薦壓力Recommended Supply Pressure:90psi (6.3 kg/ cm2)


    控制系統System Control
    自動過程Automatic process
    標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


    外形尺寸Dimensions(approx.)
    總高度 (closed):8632mm
    寬 Width (W):1580mm
    深 Depth (D):2060mm


    六月婷婷_中文字幕亚洲视频_欧美牲交天视频在线一_尤物视频网站